第219节（2 / 2）

当然现在更不用提，别说光刻工艺，连钻研掩膜制造的人都少，而国外呢？接触式光刻是人家六十年代玩的东西。

就这，国内都没赶上。

其实正确的思路是什么呢？

改变光刻工艺！

这是从根本上提升效率和功能的办法。

在孙梦毓看来，如今的芯片制造只能说是半自动化，用来生产芯片的机器至少差国际水平二十年。

“我认为咱们芯片制造工艺走入了一个误区，可能是接触式光刻方法的影响，致使咱们的视线都集中在掩膜上，不如转换思路，从光刻工艺上入手。”

“例如分步投影光刻技术。”

老专家眼睛一亮，示意孙梦毓说说看。

“所谓分步投影光刻技术即一次只投影一个曝光场（这可能是硅片上的一个或多个芯片），

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